大量程高精度电容位移测量系统的研究

本文探讨分析了应用在电容位移测量系统中的一种“无差调节”式闭环测量原理。采用这种原理能避免缆线电容对测量结果的影响,使电容位移传感器可以同时得到较大的量程和较高的分辩率,并能以较低的造价制成质量较高的测量系统。样机上的实验结果也证明了这一点。