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选择性质子轰击DC—PBH激光器
引用本文:张佰君,马晓宇.选择性质子轰击DC—PBH激光器[J].半导体光电,1997,18(5):350-353.
作者姓名:张佰君  马晓宇
作者单位:[1]吉林大学 [2]中国科学院半导体研究所
摘    要:在普通双沟平面掩埋异质结(DC-PBH)激光器的基础上,采用质子轰击的技术,制作了一种新型的选择性质子轰击DC-PHB激光器。这种新型的激光器结构与以前普通的DC-PBH结构相比阈值电流降低,输出功率及量子效率得到提高,尤其是它的调制特性得到明显改善,这种结构激光器的调制带宽由原来的2.0GHz提高到6.0GHz。

关 键 词:半导体激光器  选择性  质子轰击  DC-PBH

Selective proton bombarded DC-PBH lasers
ZHANG Baijun YI Maobin LI Dehui SHEN Zhiyuan GAO Dingsan.Selective proton bombarded DC-PBH lasers[J].Semiconductor Optoelectronics,1997,18(5):350-353.
Authors:ZHANG Baijun YI Maobin LI Dehui SHEN Zhiyuan GAO Dingsan
Abstract:On the basis of conventional DC-PBH laser,a new laser structure-selective proton bombaraded DC-PBH laser structure(SPB-DC-PBH) is fabricated.Compared with the conventional DC-PBH laser,it is characterized by lower threshold current,higher output and differential quantum efficiency and wider modulation bandwidth(6.0 GHz)
Keywords:Semiconductor Laser  Selective Proton Bombardment  Modulation Bandwidth  Parasitic Capacitance
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