| 氟化非晶碳膜结构的Raman和FTIR研究 |
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| 引用本文： | 肖剑荣,蒋爱华.氟化非晶碳膜结构的Raman和FTIR研究[J].真空科学与技术学报,2010,30(6). |
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| 作者姓名： | 肖剑荣 蒋爱华 |
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| 基金项目： | 中南大学博士后科学基金资助项目，广西信息材料重点实验室研究基金资助项目，广西教育厅科研基金项目，广西自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 利用反应射频磁控溅射法,以单晶Si片为衬底,在不同功率下制备了氟化非晶碳膜样品,并进行了不同温度的退火处理。采用拉曼光谱、傅里叶变换红外光谱和原子力显微镜对样品的结构进行了表征。通过谱线Lorentzian分峰拟合方法,分析比较了不同功率下制备的氟化非晶碳膜sp杂化结构,得到了薄膜生长过程功率控制与结构的关系,功率增大、退火温度升高,膜内sp2相对含量增加。退火温度达到350℃时,薄膜中石墨结构明显增加。
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| 关 键 词： | 氟化非晶碳膜 拉曼光谱 溅射功率 退火 |
Microstructure Study of Fluorinated Amorphous Carbon Films by Raman and Fourier Transform Infrared Spectroscopy |
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| Xiao Jianrong,Jiang Aihua.Microstructure Study of Fluorinated Amorphous Carbon Films by Raman and Fourier Transform Infrared Spectroscopy[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2010,30(6). |
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| Authors: | Xiao Jianrong Jiang Aihua |
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