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Ti-Al-Si-N多层梯度涂层的微观结构及力学性能研究
引用本文:吴雁,王冰,肖礼军,王犁,张而耕,陈强,黄彪. Ti-Al-Si-N多层梯度涂层的微观结构及力学性能研究[J]. 表面技术, 2021, 50(2): 232-237. DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.02.023
作者姓名:吴雁  王冰  肖礼军  王犁  张而耕  陈强  黄彪
作者单位:上海应用技术大学 上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心,上海 201418;上海应用技术大学 上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心,上海 201418;上海应用技术大学 上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心,上海 201418;上海应用技术大学 上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心,上海 201418;上海应用技术大学 上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心,上海 201418;上海应用技术大学 上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心,上海 201418;上海应用技术大学 上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心,上海 201418
基金项目:上海市重点支撑计划(170905038000);上海市联盟计划(LM201920)
摘    要:目的 分析Ti-Al-Si-N多层梯度涂层微观结构特征和力学性能,得到涂层强化机制.方法 采用阴极电弧离子镀镀膜工艺,使用4个靶材交替沉积的方式,分别在高速钢和Si基底上制备Ti-Al-Si-N多层梯度涂层.采用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)和纳米压痕仪对Ti-Al-Si-N多层梯度涂层晶相组织、...

关 键 词:TiAlSiN  多层梯度涂层  微观结构  力学性能  强化机制
收稿时间:2020-02-28
修稿时间:2020-12-28

Research on Microstructure and Mechanical Properties of Ti-Al-Si-N Multilayer Gradient Coating
WU Yan,WANG Bing,XIAO Li-jun,WANG Li,ZHANG Er-geng,CHEN Qiang,HUANG Biao. Research on Microstructure and Mechanical Properties of Ti-Al-Si-N Multilayer Gradient Coating[J]. Surface Technology, 2021, 50(2): 232-237. DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.02.023
Authors:WU Yan  WANG Bing  XIAO Li-jun  WANG Li  ZHANG Er-geng  CHEN Qiang  HUANG Biao
Affiliation:Shanghai Engineering Research Center of Physical Vapor Deposition PVD Superhard Coating and Equipment, Shanghai Institute of Technology, Shanghai 201418, China
Abstract:
Keywords:TiAlSiN   multilayer gradient coating   microstructure   mechanical properties   strengthening mechanism
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