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硅压力传感器
引用本文:
程桂胜.硅压力传感器[J].仪表技术与传感器,1994(5).
作者姓名:
程桂胜
摘 要:
美国新译西州Lucas Schaevitz公司最近研制的P4000硅压力传感器,采用了微切削加工硅技术以及隔膜设计。这种传感器,可对积分信号进行调节,并对流体和气体具有兼容性。由于采用了316不锈钢,因而使用极为方便。它使用5V以下直流电,输出电流为4~0mA,P4060和P4080型可在未调节的10~32V直流电源
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