| 微电容式加速度计的闭环控制技术研究 |
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| 引用本文： | 李燕,张国兴,王玲,刘军. 微电容式加速度计的闭环控制技术研究[J]. 组合机床与自动化加工技术, 2009, 0(6) |
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| 作者姓名： | 李燕 张国兴 王玲 刘军 |
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| 作者单位： | 1. 河南农业大学,机电工程学院,郑州,450002
2. 河南城建学院,信息中心,河南,平顶山,467044 |
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| 摘 要： | 为提高微电容式加速度计的线性度和工作带宽,在设计微电容式加速度计的检测电路时,要使系统工作在闭环状态下,通过静电力反馈的方式能很好的实现闭环控制.本文主要论述了闭环控制的原理,即通过静电力反馈来实现平衡控制.并通过计算保证了闭环控制系统的稳定性.可见,闭环工作下的电容式加速度计的稳定性、精度、线性度等都得到了提高.
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| 关 键 词： | 电容式加速度计 闭环控制 线性度 带宽 |
The Research of Micro-capacitive Accelerometer's Control Technique |
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| LI Yan,ZHANG Guo-xing,WANG Ling,LIU Jun. The Research of Micro-capacitive Accelerometer's Control Technique[J]. Modular Machine Tool & Automatic Manufacturing Technique, 2009, 0(6) |
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| Authors: | LI Yan ZHANG Guo-xing WANG Ling LIU Jun |
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