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杂志ISSN号
铝合金的反应离子选择腐蚀
作者姓名:
Daniel HG Choe
马长青
作者单位:
美国GCA公司
摘 要:
在市售负载闭锁成盒自动反应离子腐蚀设备中,作了硅与铜和铝的合金的均匀可重复定向腐蚀。用一种使用BCl_3、Cl_2多元腐蚀混合物的自动、连续两步工艺产生清洁的各向异性的腐蚀图形,其质量和在恰当的光致抗蚀腐蚀速率下,对SiO_2的选择腐蚀一样好。
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