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医用不锈钢表面沉积类金刚石薄膜的电化学腐蚀性能研究
引用本文:刘成龙,杨大智,邓新绿,齐民.医用不锈钢表面沉积类金刚石薄膜的电化学腐蚀性能研究[J].硅酸盐学报,2005,33(5):559-563.
作者姓名:刘成龙  杨大智  邓新绿  齐民
作者单位:大连理工大学,三束材料表面改性国家重点联合实验室,大连,116024;大连理工大学材料系,大连,116024;大连理工大学材料系,大连,116024
基金项目:国家自然科学基金(50081001),高等学校博士点基金(20010141003),国家高技术研究发展863计划(2002AA326010)资助项目,大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室开放课题资助。
摘    要:医用316L不锈钢植入物植入体内后,体内环境可导致其产生腐蚀和Ni离子的析出。利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,采用等离子体源离子注入(plasmasourceionimplantation,PSII)和等离子体增强化学气相沉积(plasmaenhancedchemicalvapordeposi tion,PECVD)复合工艺在医用316L不锈钢表面沉积类金刚石薄膜,进行表面改性,以提高其在模拟体液环境中的腐蚀阻抗。扫描电子显微镜和原子力显微镜观察发现,薄膜由纳米粒子构成,膜层连续光滑。电化学腐蚀测试表明:采用PSII+PECVD复合工艺制备的类金刚石薄膜与316L不锈钢改性体系在(37±1)℃的Troyde’s模拟体液中的自腐蚀电位约为120mV,体系的击穿电位超过1.9V,与基体316L不锈钢相比,其热力学稳定性与抗腐蚀性能得到增强,改性效果优于单独的PECVD工艺。

关 键 词:等离子源离子注入  等离子增强化学气相沉积  类金刚石薄膜  医用不锈钢  抗腐蚀性  模拟体液
文章编号:0454-5648(2005)05-0559-05
修稿时间:2004年8月24日

ELECTROCHEMICAL CORROSION BEHAVIOR OF AMORPHOUS DIAMOND-LIKE CARBON FILM COATED BIOMEDICAL STAINLESS STEEL
LIU Chenglong,Yang Dazhi,DENG Xinl,QI Min.ELECTROCHEMICAL CORROSION BEHAVIOR OF AMORPHOUS DIAMOND-LIKE CARBON FILM COATED BIOMEDICAL STAINLESS STEEL[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,2005,33(5):559-563.
Authors:LIU Chenglong  Yang Dazhi  DENG Xinl  QI Min
Affiliation:LIU Chenglong~
Abstract:
Keywords:plasma source ion implantation  plasma enhanced chemical vapor deposition  diamond-like carbon  medical stainless steel  corrosion resistance  simulated body fluid
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