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| 机电组件 | |
| 摘 要： | SPIE-Vol.3514 00160141998年 SPIE 会议录,卷3514:微机械加工器件与元件(4)=1998 proceedings of SPIE,Vol.3514:microma-chined devices and components Ⅳ会,英]/SPIE-theInternational Society for Optical Engineering.—1998.—440P.(PC)本会议录收集了于1998年9月21～22日在美国加州圣克拉拉召开的微机械加工器件与元件专题讨论会上发表的46篇论文。内容涵盖键合与封装,化学与气敏传感器,集成,致动器,惯性传感器,高频器件,谐振器与声学器件,模拟与计算机辅助设计,机械传感器等。0016015光纤电压互感器光电变换频率特性分析刊]/李开成//传感器技术.—2000,19(3).—25～27(D)从提高通频带和抑制噪声两方面综合考虑,介绍了具有0.2%测量精度和2kHz 暂态信号通频带的光纤电压互感器光电变换系统设计,并分析了其频率特性。参4 |
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