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| 用激光干涉法诊断准分子激光在YBa_2Cu_3O_(7-δ)靶表面激励的等离子体电子密度 | |
| 引用本文： | 焦树良,刘大明,李再光.用激光干涉法诊断准分子激光在YBa_2Cu_3O_(7-δ)靶表面激励的等离子体电子密度[J].量子电子学报,1991(1). |
| 作者姓名： | 焦树良 刘大明 李再光 |
| 作者单位： | 华中理工大学激光国家实验室 430074 (焦树良，刘大明)，华中理工大学激光国家实验室 430074(李再光) |
| 摘 要： | 目前氧化物高温超导薄膜的制备已有多种方法,其中准分子激光溅射法是最有前途的方法之一。准分子激光溅射法制备高温超导膜的最大特点就是其保成份性和高效率。由于其保成份性使得制备厚位超导膜成为现 |
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