ICF分解实验中的平面调制靶和薄膜靶的研制 |
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引用本文: | 周斌,孙骐,黄耀东,沈军,吴广明,王珏.ICF分解实验中的平面调制靶和薄膜靶的研制[J].原子能科学技术,2004,38(1):79-83. |
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作者姓名: | 周斌 孙骐 黄耀东 沈军 吴广明 王珏 |
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作者单位: | 同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092 |
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基金项目: | "863"高技术项目(2002AA844120,2002AA84ts17) |
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摘 要: | 本工作研制了用于惯性约束聚变ICF分解实验模拟聚变靶丸表面粗糙度和驱动激光空间不均匀性对R—T不稳定性作用的平面调制靶和平面薄膜靶。以激光干涉法结合图形转移工艺获得波长20~100μm、振幅0.0~4.0μm的正弦调制图形的模板,再将调制图形转移至溴代聚苯乙烯薄膜表面,制备出ICF实验用溴代聚苯乙烯平面调制箔靶;以半导体工艺结合自截止腐蚀工艺制得厚度4μm左右的自支撑Si平面薄膜靶。Si膜的表面粗糙度为几十纳米。对所研制的两种靶型的参数进行了测量。
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关 键 词: | 惯性约束聚变 平面调制靶 薄膜靶 ICF 表面粗糙度 溴代聚苯乙烯 |
文章编号: | 1000-6931(2004)01-0079-05 |
Development of Surface Perturbation Target and Thin Silicon Foil Target Used to Research Rayleigh-Taylor Instability in Inertial Confinement Fusion Experiment |
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Abstract: | |
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Keywords: | inertial confinement fusion surface perturbation target thin silicon foil (target) |
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