硅化钯-P型硅肖特基势垒二极管的电子束感生电流法观测期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

硅化钯-P型硅肖特基势垒二极管的电子束感生电流法观测

作者姓名：	徐晓华李萍

作者单位：	昆明物理研究所，昆明物理研究所

摘要：	本文用EBIC法对SBD元件进行了观测。在加速电压1—2.5kV、束流约3×10~(-12)A的条件下,对SBD元件的结深进行了非破坏性测量,其值约13nm,此值与同样元件的二次离子剥离法测量结果相符。
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