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| 多晶硅生产中回收氢气的净化 | |
| 引用本文： | 刘建军. 多晶硅生产中回收氢气的净化[J]. 中国有色冶金, 2000, 29(6): 17-19 |
| 作者姓名： | 刘建军 |
| 作者单位： | 北京有色冶金设计研究总院,北京,100038 |
| 摘 要： | 本文介绍了回收氢气净化的基本原理、工艺流程 ,及用回收氢气生产多晶硅的实践结果 ,分析了半导体多晶硅生产中 ,利用活性炭净化从还原炉尾气中回收的氢气 |
| 关 键 词： | 多晶硅 活性碳 氢气 净化 |
Purification in Recovering Hydrogen during Production of Polycrystalline Silicon |
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| LIU Jian-jun. Purification in Recovering Hydrogen during Production of Polycrystalline Silicon[J]. China Nonferrous Metallurgy, 2000, 29(6): 17-19 | |
| Authors: | LIU Jian-jun |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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