| 微型折叠式三维电场传感器 |
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| 引用本文： | 方奕庚,彭春荣,方东明,王宇,夏善红.微型折叠式三维电场传感器[J].传感器与微系统,2016(5). |
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| 作者姓名： | 方奕庚 彭春荣 方东明 王宇 夏善红 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院 电子学研究所,北京100190;中国科学院大学,北京 100049;2. 中国科学院 电子学研究所,北京,100190 |
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| 摘 要： | 提出一种基于柔性衬底和三维组装方法的新型三维电场传感器.利用柔性衬底的折叠,构建一种互相垂直的新型三维电场传感器,研究了测量空间电场时的耦合,提出解耦算法,标定灵敏度矩阵,实现了空间电场三个方向分量的准确测量;通过一系列的温湿度实验研究了三维结构的形变,证明了三维电场传感器结构稳定可靠.实验结果表明:所研制的三维电场传感器不仅能消除耦合干扰,实现空间电场分量的准确测量,测量误差在3.61％以内;而且通过新的三维组装方法,大大减少了三维电场传感器的质量、体积,折叠工艺简化了三维传感器的组装,有利于批量化生产.
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| 关 键 词： | 三维电场 三维组装 三维标定 柔性折叠 MEMS电场传感器 |
Micro 3-dimensional folding electric field sensor |
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| FANG Yi-geng,PENG Chun-rong,FANG Dong-ming,WANG Yu,XIA Shan-hong.Micro 3-dimensional folding electric field sensor[J].Transducer and Microsystem Technology,2016(5). |
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| Authors: | FANG Yi-geng PENG Chun-rong FANG Dong-ming WANG Yu XIA Shan-hong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | 3D electric field 3D assembling 3D calibration flexible folding MEMS electric field sensor |
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