| 基于无掩模腐蚀技术的高性能微加速度传感器 |
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| 引用本文： | 袁明权,唐彬,孙远程,熊壮,彭勃.基于无掩模腐蚀技术的高性能微加速度传感器[J].传感器与微系统,2016(3). |
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| 作者姓名： | 袁明权 唐彬 孙远程 熊壮 彭勃 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳,621999 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51305412;61404121)，行业预先研究项目(426010104)，中国工程物理研究院超精密加工重点实验室资助项目(2012CJMZZ00003) |
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| 摘 要： | 针对深沟槽内结构制作困难的问题,基于单晶硅各向异性腐蚀原理,推导了100]单晶硅在KOH溶液中无掩模腐蚀过程台阶宽度与无掩模腐蚀深度之间的解析表达式,通过工艺实验确定了单晶硅311]面与100]面的腐蚀速率比;采用适合于三明治微加速度传感器硅芯片制作的无掩模腐蚀成型工艺流程,实现了深沟槽内悬臂梁的准确成型,研制出一种±100gn量程的微加速度传感器.样品测试表明:运用无掩模腐蚀技术制作的微加速度传感器相对精度优于6 ×10-5,灵敏度为17.78 mV/gn.
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| 关 键 词： | 微机械加工 微加速度传感器 各向异性腐蚀 无掩模 阳极键合 |
High performance micro-acceleration sensor based on maskless etching technology |
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| YUAN Ming-quan,TANG Bin,SUN Yuan-cheng,XIONG Zhuang,PENG Bo.High performance micro-acceleration sensor based on maskless etching technology[J].Transducer and Microsystem Technology,2016(3). |
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| Authors: | YUAN Ming-quan TANG Bin SUN Yuan-cheng XIONG Zhuang PENG Bo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-machining micro-acceleration sensor anisotropic etching maskless anode bonding |
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