| COMS器件总剂量效应长线传输在线测试系统 |
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| 引用本文： | 关颖,林东生,郭红霞,韩福斌,吴国荣.COMS器件总剂量效应长线传输在线测试系统[J].微电子学,2001,31(5):367-369. |
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| 作者姓名： | 关颖 林东生 郭红霞 韩福斌 吴国荣 |
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| 作者单位： | 西北核技术研究所, |
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| 摘 要： | 主要介绍了长线在线测试系统在^60Co源辐场中的应用，实验中，解决了辐射场低能散射对小电流测量带来的影响问题，在线测量减少了移位测量中的操作繁琐及退火效应带来的差异。该系统具有操作简单、测量方便、测量数据可靠的特点。
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| 关 键 词： | CMOS器件 在线测量 总剂量辐射 低能散射 |
| 文章编号： | 1004-3365(2001)05-0367-03 |
| 修稿时间： | 2000年11月27 |
A Long Cable Transmission On-Line Test System for CMOS Device in Total Dose Radiation |
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| GUAN Ying,LIN Dong sheng,GUO Hong xia,HAN Fu bin,WU Guo rong.A Long Cable Transmission On-Line Test System for CMOS Device in Total Dose Radiation[J].Microelectronics,2001,31(5):367-369. |
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| Authors: | GUAN Ying LIN Dong sheng GUO Hong xia HAN Fu bin WU Guo rong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CMOS device On line test Total dose radiation Low energy scattering |
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