| 非晶硅薄膜晶体管室温红外探测器的优化设计 |
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| 引用本文： | 刘兴明,方华军,刘理天. 非晶硅薄膜晶体管室温红外探测器的优化设计[J]. 微纳电子技术, 2007, 44(7): 219-221 |
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| 作者姓名： | 刘兴明 方华军 刘理天 |
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| 作者单位： | 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 |
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| 摘 要： | 介绍了基于非晶硅薄膜晶体管的室温红外探测器的基本特征及性能指标，对晶体管宽长比对探测器性能的影响进行了理论分析，分析表明，提高晶体管的宽长比可以改善探测器的探测率。为了克服传统微桥结构室温红外探测器成品率低的不足，提出了一种新的热绝缘材料，并将该材料应用到了非制冷红外探测器中，实际制备了探测器单元，对该材料的热绝缘能力进行了验证。
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| 关 键 词： | 非晶硅薄膜晶体管 非制冷红外探测器 电流温度系数 插指结构 |
| 文章编号： | 1671-4776（2007）07/08-0219-03 |
| 修稿时间： | 2007-04-02 |
Optimization Design of Uncooled Amorphous Silicon Thin Film Transistor Infrared Detector |
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| LIU Xing-ming,FANG Hua-jun,LIU Li-tian. Optimization Design of Uncooled Amorphous Silicon Thin Film Transistor Infrared Detector[J]. Micronanoelectronic Technology, 2007, 44(7): 219-221 |
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| Authors: | LIU Xing-ming FANG Hua-jun LIU Li-tian |
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| Affiliation: | Institute of Microelectronics , Tsinghua University, Beijing 100084,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | amorphous thin film transistor uncooled infrared detector temperature coefficient of current finger-cross structure |
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