| 磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计 |
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| 引用本文： | 王晓兰,周建国,罗敢. 磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计[J]. 小型微型计算机系统, 2003, 24(10): 1882-1885 |
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| 作者姓名： | 王晓兰 周建国 罗敢 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,计算机学院,湖北,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学重点基金项目 (6913 3 0 2 0 )资助 |
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| 摘 要： | 叙述了影响磁盘伺服图形光刻机主轴转速误差主要来源，分析了主轴稳速系统是实现光刻机均匀刻录不可缺少的重要环节，提出了提高主轴稳速精度具体设计方案。
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| 关 键 词： | 磁盘伺服图形光刻机 稳速精度 单片机控制 主轴 转速误差 |
| 文章编号： | 1000-1220(2003)10-1882-04 |
Design of the Spindle Speed Stablization System for the Disc Servo Photo Optical Etching Machine |
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| WANG Xiao-lan,ZHOU Jian-guo,LUO Gan. Design of the Spindle Speed Stablization System for the Disc Servo Photo Optical Etching Machine[J]. Mini-micro Systems, 2003, 24(10): 1882-1885 |
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| Authors: | WANG Xiao-lan ZHOU Jian-guo LUO Gan |
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| Abstract: | In this paper , the main courses of speed error of the spindle system for the disc servo photo etching machine are discussed , and the spindle speed stablization system is proved to be an important port to make the machine etching evenly . On those , a detailed design for improving the precision of spindle speed stablization is proposed. |
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| Keywords: | optical etching machine precision of speed stablization single chip microcomputer control |
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