GaAs数字集成电路工艺—制造远景展望

1974年首次论证了GaAs的高速性能。从那时起,随着市场的稳定,GaAs数字集成电路已从实验室小规模实验转到实际制造工艺中。现在能制造LSI GaAs IC,并且正在研究VLSI结构。本文描述了几种数字集成电路的工艺技术,并讨论了典型应用及其结果。还讨论了生产GaAs IC所用的设备和仪器的制造设想。