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| 光栅铝膜纳米压痕尺寸效应分析 | |
| 引用本文： | 石广丰,刘哲,史国权,徐志伟,蔡洪彬.光栅铝膜纳米压痕尺寸效应分析[J].长春光学精密机械学院学报,2013(Z1):70-73. |
| 作者姓名： | 石广丰 刘哲 史国权 徐志伟 蔡洪彬 |
| 作者单位： | 长春理工大学机电工程学院 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51075042);吉林省科技发展计划项目(20080534);长春理工大学科技创新基金项目(2021000422);长春理工大学青年科学基金项目 |
| 摘 要： | 研究光栅铝膜尺寸效应对于指导衍射光栅机械刻划工艺十分重要,对现有光栅铝膜进行了纳米压痕实验,从实验中获得光栅铝膜材料的力学性能参数。通过实验数据可知,光栅铝膜材料在微米级范围内存在明显的尺寸效应。利用三种尺寸效应模型Meyer模型、PSR模型及MPSR模型对光栅铝膜材料尺寸效应进行描述并分析,说明了几种模型在不同压深情况下的有效性。 |
| 关 键 词： | 光栅铝膜 纳米压痕 尺寸效应 |
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