用电容-电压(C-V)技术研究聚合物的表面陷阱特性(摘要)

聚合物表面陷阱的研究是分析聚合物的静电、电荷贮存、光电导等现象的基础。特别在最近几年,以聚酰亚胺、有机硅等为代表的聚合物作为介电材料在微电子领域中得到了广泛的应用。这些聚合物的表面电荷性能,如聚合物—半导体,聚合物—金属之间的界面电荷特性直接关系到器件的稳定性和可靠性,引起人们很大的关注。电容电压(C-V)技术是半导体领域中常用