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芯片玻璃钝化技术述评
引用本文：张金跃.芯片玻璃钝化技术述评[J].上海半导体,1992(2):47-52,64.
作者姓名：张金跃
摘    要：
关 键 词：半导体器件  芯片  玻璃纯化
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