| 碳—钛离子同步注入组织观察 |
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| 引用本文： | 李国卿,许晓磊.碳—钛离子同步注入组织观察[J].微细加工技术,1993(3):28-32. |
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| 作者姓名： | 李国卿 许晓磊 |
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| 作者单位： | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连海运学院，大连海运学院 大连 116023，大连 116023，大连 116023，大连 116023，大连 116024，大连 116024 |
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| 摘 要： | 在新型的TITAN离子注入系统中,采用组合阴极的方法,进行了碳—钛离子同步注入试验,对纯铁中的离子注入组织进行了电镜观察研究。碳离子注入形成了粒状的Fe_3C相,而碳—钛离子同步注入形成了条状的Fe_5C_2和Fe_2C等非平衡相组织
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| 关 键 词： | 同步注入 离子注入 碳离子 钛离子 |
MICROSTRUCTURE OF Fe SIMULTANEOUSLY IMPLANTED BY C AND Ti IONS |
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| Li Guoqing,Wang Dehe,Zhang Tao,Liu Bangzhi.MICROSTRUCTURE OF Fe SIMULTANEOUSLY IMPLANTED BY C AND Ti IONS[J].Microfabrication Technology,1993(3):28-32. |
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| Authors: | Li Guoqing Wang Dehe Zhang Tao Liu Bangzhi |
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| Abstract: | The C-Ti ions simultaneous implantalion with incorporation metals ca-thod was carried out in TITAN ion implantation system.And the microstruc-ture of Fe implanted was observed by TEM. Fe3C phase was formed by C ion implantation and non-equilibrious phases Fe6C2 and Fe2C were formed by C-Ti ions simultaneous implantation. |
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| Keywords: | C-Ti ions simultaneous implantation |
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