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化学气相淀积在无机新材料制备中的应用

引用本文：	郭新,袁润章.化学气相淀积在无机新材料制备中的应用[J].材料科学与工程,1994,12(1):58-61,65.

作者姓名：	郭新袁润章

摘要：
关键词：	化学气相淀积制备无机材料
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