| 二氧化铪晶态薄膜的自组装制备 |
| |
| 引用本文： | 贺中亮,谈国强,苗鸿雁,刘剑.二氧化铪晶态薄膜的自组装制备[J].材料导报,2009,23(6). |
| |
| 作者姓名： | 贺中亮 谈国强 苗鸿雁 刘剑 |
| |
| 作者单位： | 陕西科技大学材料科学与工程学院,西安,710021 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家科技支撑计划，国家自然科学基金 |
| |
| 摘 要： | 利用自组装单层膜技术,在玻璃基板上生长有机硅烷单分子膜层,以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配制HfO2前驱液,通过液相沉积在硅烷的功能性官能团上诱导生成二氧化铪薄膜.通过接触角测试仪、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了研究分析.结果表明,利用自组装单层法成功制备出立方型的HfO2晶态薄膜,薄膜表面均一.
|
| 关 键 词： | 薄膜 自组装单层膜 |
Self-assembled Monolayers Preparation of HfO_2 Thin Film |
| |
| HE Zhongliang,TAN Guoqiang,MIAO Hongyan,LIU Jian.Self-assembled Monolayers Preparation of HfO_2 Thin Film[J].Materials Review,2009,23(6). |
| |
| Authors: | HE Zhongliang TAN Guoqiang MIAO Hongyan LIU Jian |
| |
| Affiliation: | College of Material Science and Engineering;Shaanxi University of Science and Technology;Xi'an 710021 |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | HfO2 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
