| 柔性机构尺寸与形状优化新方法及实现 |
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| 引用本文： | 刘旭,高建忠,赵玉龙,蒋庄德.柔性机构尺寸与形状优化新方法及实现[J].微纳电子技术,2007(8). |
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| 作者姓名： | 刘旭 高建忠 赵玉龙 蒋庄德 |
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| 作者单位： | 西安交通大学,精密工程研究所,西安,710049;机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049 西安交通大学,精密工程研究所,西安,710049;机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049 西安交通大学,精密工程研究所,西安,710049;机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049 西安交通大学,精密工程研究所,西安,710049;机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049 |
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| 摘 要： | 针对MEMS复杂器件优化困难的问题,提出了一种柔性机构尺寸与形状优化的新方法.该方法采用遗传算法(GA)与有限元方法(FE)联合的优化策略,用MATLAB软件作为“调度员“,将ANSYS与MATLAB自带的遗传算法工具箱进行有机集成,共同完成柔性机构的优化功能.最后以一种柔性微杠杆机构为例,实现了提出的优化方法,给出了优化的结果.
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| 关 键 词： | 微机电系统 柔性机构 微杠杆机构 有限元法 遗传算法 |
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