分子束外延在基础研究及器件生产中的应用

1.引言分子束外延是基于一束或几束热能原子或分子束与结晶基底反应的超高真空薄膜技术。薄膜生长技术能够在尺寸控制非常精确的情况下制备出良好的晶体半导体层、金属层和绝缘层。利用这个技术有可能获得在天然晶体中所没有的一些电学和光学特性。这一技术在物理学和表面化学的研究及新型器件的研制中起着巨大的推动作用。