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| 静电多极偏转器的计算方法 | |
| 引用本文： | 李志能,曹睿,王家斌.静电多极偏转器的计算方法[J].微细加工技术,1987(Z1). |
| 作者姓名： | 李志能 曹睿 王家斌 |
| 作者单位： | 浙江大学无线电系 (李志能，曹睿■)，浙江大学无线电系(王家斌) |
| 摘 要： | 一、概述静电多极偏转器是电、离子光学系统中的一个基础部件,近年来它在电子束曝光机和聚焦离子束装置中得到普遍的应用,其主要原因:1.扫描速度快,生产效率高;2.合理设计多极偏转器,其象差可做得较小,并对象散易于进行校正; |
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