用于角位移补偿的新型XYθ微动定位平台 |
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引用本文: | 邱迁,关均铭,郭晓晖,汤晖.用于角位移补偿的新型XYθ微动定位平台[J].机械工程与自动化,2018(5). |
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作者姓名: | 邱迁 关均铭 郭晓晖 汤晖 |
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作者单位: | 广东工业大学机电工程学院 |
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摘 要: | 设计了一个新颖的三自由度微动定位平台,用于补偿现有宏定位平台的定位误差。通过柔性铰链柔度公式计算出放大比,用ANSYS仿真软件分析出机构的固有频率,通过一些开环实验得到的数据可以证明该3-RRR微动平台具有较好的性能。
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