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Mechanical and Tribological Properties of Epitaxial Cubic Boron Nitride Thin Films Grown on Diamond
Authors:N. Deyneka‐Dupriez  U. Herr  H.‐J. Fecht  X. W. Zhang  H. Yin  H.‐G. Boyen  P. Ziemann
Affiliation:1. Institut für Mikro‐ und Nanomaterialien, Universit?t Ulm, D‐89081 Ulm, Germany;2. Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, PR China;3. Institut für Festk?rperphysik, Universit?t Ulm, D‐89069 Ulm, Germany;4. Universiteit Hasselt, Campus Diepenbeek, Instituut voor Materiaalonderzoek, Wetenschapspark 1, BE 3590 Diepenbeek, Belgium
Abstract:
Keywords:Diamond  Nitrides  Thin films
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