| 基于微分先行PID算法的铸锭炉温控系统 |
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| 引用本文： | 杨晓生,彭志坚,肖益波,谭晓松.基于微分先行PID算法的铸锭炉温控系统[J].电子工业专用设备,2009,38(7):42-45. |
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| 作者姓名： | 杨晓生 彭志坚 肖益波 谭晓松 |
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| 作者单位： | 1. 中国电子科技集团公司第48研究所,湖南长沙,410111;国防科技大学研究生院,湖南长沙,410073
2. 中国电子科技集团公司第48研究所,湖南长沙,410111 |
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| 摘 要： | 针对多晶硅铸锭炉的温度控制,提出了一种基于微分先行算法的PID控制方法。应用结果说明,该PID控制方法能对多晶铸锭炉的温度进行有效控制。
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| 关 键 词： | 多晶硅铸锭炉 PID 温度控制 |
Temperature Control System Based on Differential ahead PID Algorithm of Polysilicon Ingot Furnace |
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| YANG Xiaosheng,PENG Zhijian,XIAO Yibo,TAN Xiaosong.Temperature Control System Based on Differential ahead PID Algorithm of Polysilicon Ingot Furnace[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2009,38(7):42-45. |
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| Authors: | YANG Xiaosheng PENG Zhijian XIAO Yibo TAN Xiaosong |
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| Affiliation: | YANG Xiaosheng , PENG Zhijian ,XIAO Yibo ,TAN Xiaosong (1. The 48th research institute of CETC, Changsha 410111, China; 2. National Universify of Defense Teehology, Changsha 410073, China) |
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| Abstract: | This paper put forward a Differential ahead PID control for temperature control of Ploysili con Ingot Furnace. Our results indicate that the PID control is effective for temperature of Ploysilicon Ingot Furnace. |
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| Keywords: | PID Polysilicon Ingot Furnace PID temperature control |
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