砷化镓LPE法生长外延层厚度的数学模型

本文以实际测得的数据为依据,从实用的角度出发,探求影响GaAs液相外延层厚度的主要因素,提出了几种厚度的数学模型。并对(1)δ=a_0 a_1△t~(1/2),(2)δ=a_0 a_1△t a_2t~(1/2),(3)δ=a_0 a_1△t a_2t三种模型进行校验和比较。此三种模型相关指数大于0.85,剩余标准差约为3μ。