| 基于MEMS的非制冷红外探测器读出电路的设计 |
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| 引用本文： | 张强,吴晓波,杨旸,孙亮. 基于MEMS的非制冷红外探测器读出电路的设计[J]. 固体电子学研究与进展, 2010, 30(4) |
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| 作者姓名： | 张强 吴晓波 杨旸 孙亮 |
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| 作者单位： | 浙江大学超大规模集成电路研究所,杭州,310027;浙江大学超大规模集成电路研究所,杭州,310027;浙江大学超大规模集成电路研究所,杭州,310027;浙江大学超大规模集成电路研究所,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 基于MEMS的非制冷红外探测器广泛用于军用和民用领域,其中作为探测器核心部件的焦平面探测阵列的读出电路等关键技术的研究至为重要.设计了一块240×320的焦平面探测阵列的读出电路,此电路能够抑制MEMS工艺的波动,减小探测器环境温度的影响.采用HHNEC 0.5 μm 工艺对此设计流片,其测试结果达到预期目标.芯片输出电压为1.5～3.5 V,每帧图像输出时间为16.32 ms,可以保证每秒61帧图像输出.
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| 关 键 词： | 非制冷红外探测器 微机电系统 读出电路 |
Design of ROIC in Uncooled Infrared Detector Based on MEMS |
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| ZHANG Qiang,WU Xiaobo,YANG Yang,SUN Liang. Design of ROIC in Uncooled Infrared Detector Based on MEMS[J]. Research & Progress of Solid State Electronics, 2010, 30(4) |
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| Authors: | ZHANG Qiang WU Xiaobo YANG Yang SUN Liang |
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