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晶体管、MOS器件
摘    要:0603328 铜空气桥低噪声GaAs PHEMT用WNx扩散势垒= Use of WNx as diffusion barrier for copper airbridged low noise GaAs PHEMT[刊,英]/H.C.Changj,E.Y. Chang//Electronics Letters.-2003,39(24).-1763-1764(E)

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