|
|||||
|
|
| MOCVD法制备薄膜型Fe2O3气敏元件 | |
| 作者姓名： | 赵世勇 淳于宝珠 |
| 作者单位： | 山东大学化学系 |
| 摘 要： | 本文采用ＭＯＣＶＤ技术制备了薄膜型Ｆｅ２Ｏ３气敏元件。测定了元件的物理性能和气敏特性。该气敏元件对乙醇、丙酮和液化石油气有较高的灵敏度，响应时间快，对甲烷、管道煤气、硫化氢等气体不敏感，具有一定的选择性。还考查了元件的稳定性。 |
| 关 键 词： | MOCVD法 气敏传感器 传感器 薄膜型 三氧化铁 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |