| 相变式自检测压力传感器 |
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| 引用本文： | 霍明学,汤小川,尹亮,刘晓为,王喜莲. 相变式自检测压力传感器[J]. 半导体学报, 2006, 27(5): 937-943 |
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| 作者姓名： | 霍明学 汤小川 尹亮 刘晓为 王喜莲 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 提出一种新型压力传感器自检测方法--相变热驱动法.在压力传感器的密封腔中填充相变物质,利用相变物质气化后所产生的巨大压力实现自检测功能.通过控制压力腔中相变物质的填充量与加热电阻的加热功率,可以实现不同量程压力传感器的自检测.基于相变热驱动法研制了一种单晶硅大量程自检测压力传感器,传感器为硅-玻璃-硅三层结构,通过静电键合与热键合技术制备.测试结果显示,自检测电压输出为满量程输出的6.8%,综合精度高于2.1‰.
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| 关 键 词： | 相变热驱动 自检测 压力传感器 |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)05-0937-07 |
| 收稿时间： | 2005-08-11 |
| 修稿时间： | 2005-10-19 |
Fabrication of Self-Testable Pressure Sensors Based on Phase Change |
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| Huo Mingxue,Tang Xiaochuan,Yin Liang,LiuXiaowei and Wang Xilian. Fabrication of Self-Testable Pressure Sensors Based on Phase Change[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2006, 27(5): 937-943 |
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| Authors: | Huo Mingxue Tang Xiaochuan Yin Liang LiuXiaowei Wang Xilian |
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| Affiliation: | MEMS Center,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China;MEMS Center,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China;MEMS Center,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China;MEMS Center,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China;MEMS Center,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thermo-pneumatic actuation based on phase change self-test pressure sensor |
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