| 基于纳米多孔薄膜的对称平面光波导湿度传感器 |
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| 引用本文： | 杨荟奇,逯丹凤,祁志美.基于纳米多孔薄膜的对称平面光波导湿度传感器[J].光电子．激光,2011(10):1479-1482. |
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| 作者姓名： | 杨荟奇 逯丹凤 祁志美 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室；;中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室；;中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室； 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室； |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划“973”资助项目(2009CB320300);国家自然科学基金资助项目(60978042);集成光电子学国家重点联合实验室开放课题资助项目(2010KFB003);中国科学院“百人计划”择优支持资助项目 |
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| 摘 要： | 通过在对称平面玻璃光波导上下表面各制备一层纳米多孔TiO2薄膜，形成了一种简单新颖的光学湿度传感器。其原理为，导波光在平面对称光波导中的传播损失依赖于纳米多孔Ti02薄膜的平均折射率，后者依赖于薄膜内部的水分子吸附量，而薄膜的水分子吸附量随着周围相对湿度的变化而变化，通过实时测量导波光传播损失的变化就能够感知外围的相对...
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| 关 键 词： | 对称平面光波导 纳米多孔TiO2薄膜 平均折射率 相对湿度 |
Nanoporous thin film based symmetric slab optical waveguide humidity sensor |
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| YANG Hui-qi,LU Dan-feng and QI Zhi-mei.Nanoporous thin film based symmetric slab optical waveguide humidity sensor[J].Journal of Optoelectronics·laser,2011(10):1479-1482. |
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| Authors: | YANG Hui-qi LU Dan-feng and QI Zhi-mei |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of Transducer Technology,Institute of Electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing,100190,China;;State Key Laboratory of Transducer Technology,Institute of Electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing,100190,China;;State Key Laboratory of Transducer Technology,Institute of Electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing,100190,China; State Key Laboratory On Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductor,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China |
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| Abstract: | A novel simple humidity sensor is prepared by using a symmetric slab glass waveguide whose two surfaces are coated with nanoporous TiO2 thin films.The humidity-sensing principle of the device is that the propagation loss of light guided in the waveguide relies on the average refractive index of nanoprous TiO2 film,and the latter is a function of the amount of water adsorbed in the film.Owing to the strong dependence of the amount of adsorbed water on the ambient humidity,the relative humidity(RH... |
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| Keywords: | symmetric slab waveguide nanoporous TiO2 thin film average refractive index relative humidity |
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