| 表面粗糙度的光学在线检测 |
| |
| 引用本文： | 孟克,王东红. 表面粗糙度的光学在线检测[J]. 哈尔滨工程大学学报, 2003, 24(5): 560-562 |
| |
| 作者姓名： | 孟克 王东红 |
| |
| 作者单位： | 哈尔滨工程大学,信息与通信工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001 |
| |
| 摘 要： | 本文提出一种测量表面粗糙度的光学方法.根据Beckman电磁波散射理论和Fourier技术,使用CCD阵列采集光信号,通过软件方法,统计虚拟的楔环光能量,从而得到粗糙度的大小.测得的精度达到0.01μm,并能在线测量.这种测量方法的检测范围在0.01～0.90μm.测量的示值误差小于±10%,重复测量误差小于±5%,一个试件的平均测量时间小于5s.测量系统具有结构简单,体积小,成本较低,不损伤被测件表面的优点.由于测量对试件平台的震动不敏感,以及计算机处理的快速性,这种方法可用于在线检测.
|
| 关 键 词： | 光学 粗糙度 在线检测 |
| 文章编号： | 1006-7043(2003)05-0560-03 |
| 修稿时间： | 2003-04-28 |
Online optical measurement of surface roughness |
| |
| MENG Ke,WANG Dong-hong. Online optical measurement of surface roughness[J]. Journal of Harbin Engineering University, 2003, 24(5): 560-562 |
| |
| Authors: | MENG Ke WANG Dong-hong |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | optics roughness detecting online |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
