铁基巨磁阻抗薄膜的研究 |
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引用本文: | 徐东,吕霞.铁基巨磁阻抗薄膜的研究[J].真空科学与技术,2000,20(6):401-403. |
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作者姓名: | 徐东 吕霞 |
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作者单位: | [1]上海交通大学信息存储研究中心 [2]上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室, |
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摘 要: | 溅射方法制备的非晶Fe68Cu0.5Cr4V5Si13.5B9薄膜,通过适宜的退火处理得到具有纳米a-Fe(Si)和非晶母相的混合结构和最佳的软磁性能,相应的巨磁阻抗值最高可达72%。本着重研究了热处理条件、薄膜组织结构、较磁性能以及驱动电流频率对Fe68Cu0.5Cr4Si13.5B9薄膜磁致阻抗的影响。
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关 键 词: | 巨磁阻抗效应 退炎热处理 铁基巨磁阻抗薄膜 |
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