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真空镀氮化钛膜层的退除
摘    要:<正>近年来,气相沉积技术发展很快,真空镀工艺是其中之一。在众多的真空镀金属和非金属覆膜中,氮化钛膜层以其具有的高硬度、耐磨、抗腐蚀及良好的装饰性能应用最为广泛。

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