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| 从国际半导体设备及材料西部展览会看半导体设备发展趋势与策略 | |
| 作者姓名： | 罗敬承 |
| 作者单位： | 电子工业部电子科技情报研究所 北京100039 |
| 摘 要： | 半导体设备及材料国际组织(SEMI)于1992年6月16至18日在美国旧金山举办了一年一度的国际半导体设备及材料西部展览会.展览会规模很大,参展公司约1110家,展位2800个,展馆建筑面积为120万平方英尺;参展和参观人数约7万人.展出的产品涉及超大规模集成电路的设计、制造及测试等各个方面所需的设备和材料,品种齐全多样,IC设计 |
| 关 键 词： | 半导体材料 半导体器件 半导体设备 |
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