| 一维PSD器件及其在测量中的应用 |
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| 引用本文： | 于丽霞,王福明. 一维PSD器件及其在测量中的应用[J]. 现代电子技术, 2007, 30(7): 143-144 |
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| 作者姓名： | 于丽霞 王福明 |
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| 作者单位： | 中北大学,现代教育技术与信息中心,山西,太原,030051 |
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| 摘 要： | PSD是一种新型位置传感器。介绍了PSD器件的检测原理,并以理论推导的方式给出了其等效电路及光点坐标位置与输出电流的函数表达式。重点讨论了PSD器件在位移测测试和大型回转构件空间角度测试中的应用,分析结果表明该器件具有接口简单、测试精度高,不受光束和焦点偏离的影响等优点,可广泛应用于精密测试领域当中。
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| 关 键 词： | 光电位置敏感器件(PSD) 等效电路 位移测试 空间角度测量 |
| 文章编号： | 1004-373X（2007）07-143-02 |
| 收稿时间： | 2006-08-30 |
| 修稿时间： | 2006-08-30 |
One Dimension PSD and Applications to Precision Measurement |
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| YU Lixia,WANG Fuming. One Dimension PSD and Applications to Precision Measurement[J]. Modern Electronic Technique, 2007, 30(7): 143-144 |
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| Authors: | YU Lixia WANG Fuming |
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| Abstract: | PSD is a new kind of position sensors.In this paper,the principle of PSD is introduced.The equivalent circuits and conversion formula are derived theoretically.We discuss detailedly the applications of PSD to distance measurement and space angle measurement.The analysis results suggest that the PSD have some advantages such as simple interface,high test precision,not influenced by independence of beam and spot focus deviation,which can be used in precise measurement widely. |
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| Keywords: | Position Sensitive Detectors(PSD) equivalent circuits distance measurement space angle measurement |
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