| 静电驱动悬臂梁数模转换器设计、分析与模拟 |
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| 引用本文： | 王立峰,黄庆安.静电驱动悬臂梁数模转换器设计、分析与模拟[J].半导体学报,2004,25(6):697-701. |
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| 作者姓名： | 王立峰 黄庆安 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室 南京210096
(王立峰)，东南大学MEMS教育部重点实验室 南京210096(黄庆安) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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高等学校博士学科点专项科研项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种新型的微电子机械数模转换器 (MEMDAC)———静电驱动悬臂梁数模转换器 .与传统的静电驱动悬臂梁执行器相比 ,新的结构能更精确地控制梁的挠度 .文中给出了此MEMDAC的设计、分析和模拟过程 .有限元(FEA)分析表明此MEMDAC的最大输出位移为 1 5 1μm ,分辨率为 0 1μm ,其最大非线性误差为 0 0 3μm .
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| 关 键 词： | 悬臂梁 微执行器 非线性误差 数模转换器 |
| 文章编号： | 0253-4177(2004)06-0697-05 |
| 修稿时间： | 2003年5月31日 |
Design,Analysis,and Simulation of Micro-Electro-Mechanical Digital/Analog Converter Based on Cantilever Electrostatic Actuator |
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| Wang Lifeng and Huang Qing''''an.Design,Analysis,and Simulation of Micro-Electro-Mechanical Digital/Analog Converter Based on Cantilever Electrostatic Actuator[J].Chinese Journal of Semiconductors,2004,25(6):697-701. |
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| Authors: | Wang Lifeng and Huang Qing'an |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | cantilever micro-actuators nonlinear error digital-to-analog converter |
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