| MEMS热激发红外脉冲光源 |
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| 引用本文： | 吴飞蝶,纪新明,王建业,周嘉,黄宜平,包宗明,鲍敏杭. MEMS热激发红外脉冲光源[J]. 大气与环境光学学报, 2006, 0(3) |
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| 作者姓名： | 吴飞蝶 纪新明 王建业 周嘉 黄宜平 包宗明 鲍敏杭 |
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| 作者单位： | 复旦大学微电子系，复旦大学微电子系，复旦大学微电子系，复旦大学微电子系，复旦大学微电子系，复旦大学微电子系，复旦大学微电子系 上海 200433，上海 200433，上海 200433，上海 200433，上海 200433，上海 200433，上海 200433 |
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| 摘 要： | 设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较。测试结果显示,发射光谱带在2-4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20-40 Hz之间有较好的调制度。这些特性已经符合多数红外传感器的要求。
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| 关 键 词： | 红外光源 发射率 气体传感器 辐射材料 |
MEMS Thermal-induced Pulsed Infrared Light Sources |
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| WU Fei-die,JI Xin-ming,WANG Jian-ye,ZHOU Jia,HUANG Yi-ping,BAO Zong-ming,BAO Min-hang. MEMS Thermal-induced Pulsed Infrared Light Sources[J]. Journal of Atmospheric and Environmental Optics, 2006, 0(3) |
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| Authors: | WU Fei-die JI Xin-ming WANG Jian-ye ZHOU Jia HUANG Yi-ping BAO Zong-ming BAO Min-hang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | infrared light source emissivity gas sensor radiation material |
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