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| 金刚石薄膜的选择性生长 | |
| 引用本文： | 张志明,李胜华,张冬喜,庄志诚,林栋梁.金刚石薄膜的选择性生长[J].微细加工技术,1990(Z1). |
| 作者姓名： | 张志明 李胜华 张冬喜 庄志诚 林栋梁 |
| 作者单位： | 上海交通大学 (张志明，李胜华，张冬喜，庄志诚)，上海交通大学(林栋梁) |
| 基金项目： | 国家高科技和上海市自然科学基金 |
| 摘 要： | 本文提出了一种利用表面处理状态的差异进行选择性生长,制备多晶金刚石薄膜图形的新方法,得到的薄膜线条宽约8μm,晶粒堆砌致密,大都显露三角形(111)面,其金刚石结构得到了拉曼光谱的确认。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |