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金属薄膜的电阻率温度系数
引用本文:范平. 金属薄膜的电阻率温度系数[J]. 深圳大学学报(理工版), 2000, 17(4): 33-40
作者姓名:范平
作者单位:深圳大学理学院,深圳518060
基金项目:深圳大学科研基金资助项目(9823)
摘    要:利用同时考虑表面散射和晶界散射的金属薄膜电导理论,得到金属薄膜的电阻率温度系数与厚度的关系式。金属Cu膜、Ag膜和Au膜的电阻率温度系数随膜厚变化的实验结果表明,计算曲线与实验结果符合较好,弥补了F-S理论在较薄厚度时与实验结果不相符的缺陷。分析得出,薄膜厚度较薄时马希森定律仍成立。

关 键 词:金属薄膜 电阻率 温度系数 马希森定律
修稿时间:2000-09-02

TemperatureCoefficient of Resistivityof Metallic Films
FAN Ping College of Science Shenzhen University Shenzhen P.R.China. TemperatureCoefficient of Resistivityof Metallic Films[J]. Journal of Shenzhen University(Science &engineering), 2000, 17(4): 33-40
Authors:FAN Ping College of Science Shenzhen University Shenzhen P.R.China
Affiliation:FAN Ping College of Science Shenzhen University Shenzhen 518060 P.R.China
Abstract:
Keywords:metallic film  resistivity  temperature coefficient of resistivity  Matthiessen's rule
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