| 铌酸锶钡薄膜制备及椭偏光谱研究 |
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| 引用本文： | 王正,张曰理,郭扬铭,莫党.铌酸锶钡薄膜制备及椭偏光谱研究[J].功能材料,2004,35(Z1):178-180. |
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| 作者姓名： | 王正 张曰理 郭扬铭 莫党 |
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| 作者单位： | 王正（中山大学,光电材料与技术国家重点实验室,物理系,广东,广州,510275）;张曰理（中山大学,光电材料与技术国家重点实验室,物理系,广东,广州,510275）;郭扬铭（中山大学,光电材料与技术国家重点实验室,物理系,广东,广州,510275）;莫党（中山大学,光电材料与技术国家重点实验室,物理系,广东,广州,510275） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(50372085);教育部留学回国启动基金;广东省自然科学基金(021771) |
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| 摘 要： | 用溶胶-凝胶法成功地制备出了退火温度分别为500、600、700、800、900℃的铌酸锶钡(SBN)薄膜;对制备出SBN薄膜分别进行了椭偏光谱测量研究,得到了不同退火SBN薄膜椭偏光谱参数曲线;并对测得的椭偏光谱进行了数值反演计算,得到了不同退火温度的SBN薄膜的光学常数谱.结果发现SBN薄膜的折射率和消光系数都随着退火温度的增高而增大.
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| 关 键 词： | SBN薄膜 溶胶-凝胶法 椭偏光谱 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)增刊-0178-03 |
| 修稿时间： | 2004年3月1日 |
Study of fabrication and spectroscopic ellipsometry of SBN thin films |
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