用于单片微波集成电路的金属-绝缘体-半导体共面波导的时域响应

本文描述了传输慢波模式的金属-绝缘体-半导体(MIS)共面波导在时域上的特性。为了得出电路的时域响应而提出的理论分析,与测量结果相当一致。所用的电路分析方法适合于确定寄生传输效应,这些效应对于使用在单片微波集成电路中遇到的微型波导(例如肖特基接触共面线和置于金属-绝缘体-半导体基片上的耦合微带线)来说是固有的。