| 薄膜内杂质吸收热损伤机制的有限元分析 |
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| 引用本文： | 杨芳芳,薛亦渝,夏志林,黄才华,郭培涛.薄膜内杂质吸收热损伤机制的有限元分析[J].真空,2008,45(6). |
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| 作者姓名： | 杨芳芳 薛亦渝 夏志林 黄才华 郭培涛 |
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| 摘 要： | 在介质薄膜中,薄膜中的嵌入杂质或缺陷是导致薄膜激光损伤的关键因素.为了理解球状杂质对薄膜热力学损伤的影响,以热传导方程为依据,采用有限元方法模拟了厚度为500nm的介质薄膜在激光辐射下的球状杂质吸收对薄膜的温度场分布的影响.分析了不同大小和深度的球状杂质对薄膜温度场的影响,发现大而浅的杂质对薄膜的温度场的影响较大,且薄膜在激光单脉冲作用时间内,最高温升不会出现在激光功率密度达到峰值的时刻,而是稍微滞后.
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| 关 键 词： | 球状杂质 激光损伤 杂质吸收 有限元分析 介质薄膜 |
FEA of thermal damage mechanism due to absorption of impurities in thin films |
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| YANG Fang-fang,XUE Yi-yu,XIA Zhi-lin,HUANG Cai-Hua,GUO Pei-tao.FEA of thermal damage mechanism due to absorption of impurities in thin films[J].Vacuum,2008,45(6). |
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| Authors: | YANG Fang-fang XUE Yi-yu XIA Zhi-lin HUANG Cai-Hua GUO Pei-tao |
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