| 机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计 |
| |
| 引用本文： | 徐新行,王恒坤,韩旭东,王 兵,高云国. 机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计[J]. 仪器仪表学报, 2015, 36(9): 1937-1944 |
| |
| 作者姓名： | 徐新行 王恒坤 韩旭东 王 兵 高云国 |
| |
| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033；2.中国科学院大学北京100049 |
| |
| 基金项目： | 吉林省自然科学基金(201115123)、国家863计划(2011AA7031024G)项目资助 |
| |
| 摘 要： | 为了实现机载小型化FSM的闭环控制,设计了一款小体积、高精度、高环境适应性的微位移测量传感器。首先根据位移传感器的技术原理和机载FSM的应用需求,提出了微位移测量传感器的主要设计指标。然后,分别对微位移测量传感器的发光元件、密珠滑轨、测量光栅和接收元件等进行了详细设计与选择。其中,高精度密珠滑轨的采用不仅减小了测量过程中的附加阻力,而且使光栅副的运动更加精准;光栅副通光窗口的引入、独特零件编码的设计、裂相法信号提取方式的采用,保证了微位移测量传感器的高低温性能。最后,针对微位移测量传感器在机载小型化FSM上的应用效果进行了理论分析与实验检测。结果显示:机载小型化FSM的方位指向误差不超过3.4″,俯仰指向误差不超过3.8″,证明了专用型微位移测量传感器高精度、高分辨力和高响应速度的技术特点,满足机载小型化FSM的应用需求。
|
| 关 键 词： | 快速反射镜；位移传感器；测量光栅；增量式 |
Design of displacement sensor for fast steering mirror withsmall volume on airborne platform |
| |
| Xu Xinhang,Wang Hengkun,Han Xudong,Wang Bing,Gao Yunguo. Design of displacement sensor for fast steering mirror withsmall volume on airborne platform[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 36(9): 1937-1944 |
| |
| Authors: | Xu Xinhang Wang Hengkun Han Xudong Wang Bing Gao Yunguo |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | fast steering mirror displacement sensor metrological gratings increment |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《仪器仪表学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《仪器仪表学报》下载免费的PDF全文 |
|
